3.3.1 制造小器件的方法

所屬欄目:納米物理與納米技術

微電子加工技術能夠在1cm2的面積內(nèi)制造出包含幾百萬個工作元件的復雜的平面結(jié)構(gòu),這種加工技術同樣適于用微米尺度的元件制造基本的平面力學機器。渦輪機葉輪是其中的一個例子,如圖3.7所示。這個放射式的流入渦輪機是采用 ......(本文共 215 字 , 1 張圖)     [閱讀本文] >>


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