2.2.2 軟X射線及極紫外薄膜的一般設(shè)計結(jié)果

2.2.2.1　2～30nm波段,幾種軟X射線多層反射膜的材料對的優(yōu)化設(shè)計結(jié)果根據(jù)X射線反射膜材料對的一般選擇原則,對幾十種可能的薄膜材料進(jìn)行配對組合,并進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計。從而在不同波段,得到了最佳組合,最佳厚度比,并算出了可能達(dá)到的 ......（本文共 4726 字 , 16 張圖）     [閱讀本文] >>