5.1 引言

硅材料是半導(dǎo)體工業(yè)中最重要和應(yīng)用最廣泛的半導(dǎo)體材料,它既具有元素含量豐富、化學(xué)穩(wěn)定性好、無(wú)環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn),又具有良好的半導(dǎo)體材料特性,從而成為現(xiàn)代電子工業(yè)和信息社會(huì)的基礎(chǔ)材料,其發(fā)展和應(yīng)用直接促進(jìn)了20世紀(jì)全球 ......（本文共 874 字 ）     [閱讀本文] >>