所屬欄目：平板顯示釋疑
ESC是ElectroStaticChuck的縮寫,中文意思是靜電吸附卡盤。這個裝置設置在真空腔室中,使用靜電吸附玻璃基板。而所謂靜電吸附,是當一個帶有靜電的物體靠近另一個不帶靜電的物體時,由于靜電感應,沒有靜電的物體內部靠近帶靜電物體的 ......（本文共 289 字 ） [閱讀本文] >>
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