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在制作掩膜板(Mask)的最后,需要在圖層表面裝上保護(hù)膜(蒙皮),目的是為了保護(hù)Mask上不會吸附灰塵,避免產(chǎn)生曝光不良。雖說裝配了保護(hù)膜可以讓掩膜板遠(yuǎn)離灰塵,但是灰塵粘附在保護(hù)膜上就不會產(chǎn)生曝光問題嗎?答案是顯然的。如圖1所 ......（本文共 496 字 ） [閱讀本文] >>
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