第41問 什么是黃光區(qū)

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黃光區(qū)是指TFT工廠或者半導體工廠中的光刻區(qū),包含光刻膠涂布、曝光、顯影及刻蝕工序。之所以稱為黃光區(qū),主要是此區(qū)域的照明采用黃色光源,看起來黃黃的一片。為什么要使用黃光而不是其它顏色光源照明?主要原因是在半導體工 ......（本文共 203 字 ）     [閱讀本文] >>


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