所屬欄目：先進材料化學
在微電子器件制造領域,特別是用來制造高分辨率集成電路元件的光刻技術,不斷取得重大進步[1]。不久之前,最先進的電路器件也僅有幾千個晶體管元件,其最小尺寸為5～6μm。現在,具有幾百萬個晶體管單元的電路器件已經可以商業(yè)化 ......（本文共 832 字 , 2 張圖） [閱讀本文] >>
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