4.6 聚合物作為封裝材料和密封劑

所屬欄目：先進(jìn)材料化學(xué)

聚合物在顯微光刻法中起著重要的作用,將圖像刻畫到硅等基材的過(guò)程和持續(xù)增加的復(fù)雜性以及微電子器件的密度一直是新材料研究的推動(dòng)力。活性有機(jī)光刻膠材料在器件制造過(guò)程中起著重要的作用,還有其他惰性聚合物在微電子工業(yè) ......（本文共 6313 字 , 8 張圖）     [閱讀本文] >>


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