二維高帶寬低耦合納米定位平臺設計與實驗

摘要： 納米尺度研究的發(fā)展對原子力顯微鏡的核心運動部件——納米定位平臺的定位精度與掃描速度提出了更高要求。針對平臺運動耦合與諧振頻率兩項關鍵性能展開研究，設計了一種新型基于壓電陶瓷驅(qū)動的二維高帶寬低耦合納米定位平臺。結(jié)構(gòu)設計上，首先提出高剛度并聯(lián)解耦結(jié)構(gòu)，然后基于內(nèi)外側(cè)柔性鉸鏈剛度解耦假設，確立了高剛度低耦合設計方案。為進一步提升平臺諧振頻率，建立尺寸參數(shù)優(yōu)化模型，以平臺一階諧振頻率為... （共7頁）