三維橋式放大機(jī)構(gòu)的柔性微定位平臺(tái)的研究與改進(jìn)

摘要： 在微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)中，引入能夠產(chǎn)生高位移放大倍數(shù)的三維橋式放大機(jī)構(gòu)，并在此基礎(chǔ)上引入了能夠有效減少輸出端寄生位移的四桿對(duì)稱式導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，從而使所設(shè)計(jì)的微定位平臺(tái)能夠充分結(jié)合二者優(yōu)勢(shì)。根據(jù)應(yīng)變能理論、卡氏第二定理、拉格朗日定理，建立該微定位平臺(tái)的靜動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型，理論分析了平臺(tái)關(guān)鍵尺寸對(duì)平臺(tái)位移放大倍數(shù)的影響；并通過(guò)計(jì)算獲得了最優(yōu)參數(shù)下的放大倍數(shù)和固有頻率，其值分別為19.90和19... （共8頁(yè)）