電子轟擊型有源像素傳感器（EBAPS）研究進(jìn)展

摘要： 電子轟擊型有源像素傳感器（electron bombarded active pixel sensor, EBAPS）是一種電子轟擊型的數(shù)字化微光器件，低功耗、高靈敏度、適用于極低照度探測。本文從EBAPS原理出發(fā)，以傳感器陰極、陽極內(nèi)部結(jié)構(gòu)為著手點(diǎn)，闡述EBAPS從光信號輸入到數(shù)字圖像輸出的工作過程，分析EBAPS光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，結(jié)合Intevac公司系列EBAPS產(chǎn)品綜... （共10頁）