基于太赫茲單片集成電路的560 GHz次諧波混頻器設(shè)計(jì)

摘要： 基于太赫茲單片集成技術(shù)，設(shè)計(jì)并加工了一款560 GHz次諧波混頻器。建立了二極管的三維電磁模型進(jìn)行全波仿真，并結(jié)合二極管SPICE參數(shù)模型，獲得了包括寄生參數(shù)和本征參數(shù)的二極管完整模型?；诎敕植?半整體設(shè)計(jì)法對(duì)電路進(jìn)行了仿真優(yōu)化，既具有靈活性，電路整體尺寸也較小。整體電路設(shè)計(jì)在3μm厚的GaAs薄膜上，有效地抑制了高次模的傳輸，同時(shí)降低傳輸損耗。通過(guò)鋪大面積的梁氏引線提供足夠... （共6頁(yè)）