分子玻璃光刻膠的研究進(jìn)展

摘要： 以分子玻璃為成膜樹脂制備的光刻膠是極紫外光刻膠領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。本文介紹了分子玻璃光刻膠的主要結(jié)構(gòu)，搜集整理分子玻璃的期刊文獻(xiàn)與專利文獻(xiàn)，根據(jù)分子拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)將分子玻璃分為樹枝狀、環(huán)狀、其他形狀三大類，按照國別及公開時(shí)間列舉代表性研究成果，分析了不同結(jié)構(gòu)的分子玻璃的性能，總結(jié)了分子玻璃光刻膠應(yīng)用現(xiàn)狀并展望其未來發(fā)展趨勢。 （共11頁）