離子束拋光去除函數(shù)的在位快速計算與拋光實驗

摘要： 目的 基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使用法拉第杯掃描離子束流實現(xiàn)離子束拋光去除函數(shù)的在位快速計算。方法 對于空間分布不同的離子束流，通過法拉第杯掃描方法獲得電流密度分布信息，通過刻蝕實驗計算去除函數(shù)分布信息，使用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對電流密度和去除函數(shù)分布之間的關(guān)系進行擬合，建立基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算去除函數(shù)的模型。使用該模型可以實現(xiàn)對去除函數(shù)的在位快速計算，并應(yīng)用于光學(xué)元件的離子束拋光實驗中。結(jié)果 ... （共8頁）