金剛石/GaN異質(zhì)外延與鍵合技術(shù)研究進(jìn)展

摘要： 氮化鎵（GaN）功率器件具有功率高、小型化的優(yōu)勢(shì)，但散熱問題已經(jīng)成為限制其高功率輸出的新問題。金剛石具有塊體材料最高的熱導(dǎo)率，是GaN功率器件的理想散熱材料，將金剛石與GaN功率器件集成，可以降低器件運(yùn)行溫度，提高功率密度，推進(jìn)器件小型化發(fā)展。但是由于金剛石與GaN存在大的熱膨脹失配和晶格失配，以及金剛石的高硬度和穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)，其與GaN集成存在很多問題，無法發(fā)揮金剛石的超高... （共12頁）