基于交變磁場(chǎng)的平面二維時(shí)柵位移傳感機(jī)理及測(cè)量模型

摘要： 針對(duì)傳統(tǒng)的平面二維位移傳感器在超精密光刻、大面積傳感器制造中存在的技術(shù)瓶頸，提出一種基于空間交變磁場(chǎng)的平面二維位移測(cè)量方法。在定尺平面布置均勻等間距的正弦/余弦激勵(lì)繞組，施加時(shí)間正交激勵(lì)電流，構(gòu)建空間二維交變磁場(chǎng)，建立空間二維位移和時(shí)間基準(zhǔn)的映射關(guān)系。通過“維度判斷+位移解耦”的組合測(cè)量模型實(shí)現(xiàn)平面二維位移測(cè)量，利用動(dòng)尺維度判斷感應(yīng)繞組陣列輸出信號(hào)經(jīng)二值化后的組合邏輯來判斷維度... （共13頁）