新型流磁巨量轉(zhuǎn)移用永磁偏置定位磁針

摘要： 針對(duì)現(xiàn)有Mini/Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)轉(zhuǎn)移效率及自組裝轉(zhuǎn)移良率普遍較低，提出一種“永磁+電磁”磁場(chǎng)耦合的新型流磁巨量轉(zhuǎn)移用定位磁針。為實(shí)現(xiàn)磁針上表面對(duì)芯片的精準(zhǔn)抓取，設(shè)計(jì)了電磁偏置線圈，精準(zhǔn)控制磁針上表面的磁力，利用磁路分析法建立磁針結(jié)構(gòu)與磁針針尖的數(shù)學(xué)模型，獲取影響磁針上表面氣隙磁密的結(jié)構(gòu)參數(shù)，借助有限元法對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。優(yōu)化后磁針上表面的Bmax由最初的5... （共10頁(yè)）