具有緊湊結(jié)構(gòu)的芯片聲表面波拓撲延遲線設(shè)計與分析

摘要： 聲表面波(SAW)延遲線常用于現(xiàn)代射頻信號處理、陀螺儀、傳感等領(lǐng)域，特別是在雷達工業(yè)中獲得了廣泛的運用。聲表面波延遲線作為寬帶通信、電子對抗、多相調(diào)制等雷達系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件，其結(jié)構(gòu)存在簡并化、緊湊化的迫切需求。然而，傳統(tǒng)的基于電聲叉指換能器的聲表面波延遲線器件主要采用速度更低的襯底材料或者運用多個叉指換能器的方式實現(xiàn)延遲時間的增加，這會導致機電耦合系數(shù)降低，且器件結(jié)構(gòu)復雜，器件... （共5頁）