基于雙面多級微結構的柔性電容式壓力傳感器

摘要： 柔性壓力傳感器作為可穿戴智能設備的重要組成部分，在人體行為監(jiān)測、電子皮膚系統(tǒng)等方面有廣泛的應用。為了進一步利用微結構對柔性傳感器靈敏度的提升效果，采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)與碳黑(CB)、多壁碳納米管(MWCNTs)混合成導電材料并復制砂紙表面微結構作為上下電極層，用PDMS復制弧形凸起和砂紙微結構組成雙面微結構介電層，設計成基于雙面多級微結構的柔性電容式壓力傳感器。兩種微... （共8頁）