基于強(qiáng)化學(xué)習(xí)的晶圓爐管區(qū)設(shè)備維護(hù)調(diào)度聯(lián)合優(yōu)化方法

摘要： 針對(duì)晶圓爐管區(qū)加工過(guò)程中晶圓動(dòng)態(tài)到達(dá)、不同工藝類型晶圓不相容和設(shè)備預(yù)測(cè)性維護(hù)等問(wèn)題，以最小化最大完工時(shí)間和總拖期為目標(biāo)，考慮爐管區(qū)組批、設(shè)備維護(hù)選擇和批次排序，構(gòu)建爐管區(qū)設(shè)備維護(hù)-調(diào)度聯(lián)合優(yōu)化的數(shù)學(xué)模型。提出基于多目標(biāo)近端策略優(yōu)化(MPPO)強(qiáng)化學(xué)習(xí)的實(shí)時(shí)調(diào)度優(yōu)化方法。設(shè)計(jì)組批智能體，根據(jù)動(dòng)態(tài)到達(dá)的晶圓信息，實(shí)現(xiàn)相同工藝類型晶圓的組批；設(shè)計(jì)設(shè)備智能體，根據(jù)設(shè)備的預(yù)維護(hù)區(qū)間，提出... （共10頁(yè)）