基于尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂的芯片表面缺陷檢測(cè)

摘要： 針對(duì)表面缺陷檢測(cè)復(fù)雜煩瑣的特征提取過(guò)程和基于人工免疫理論的細(xì)胞分裂過(guò)程產(chǎn)生無(wú)用空細(xì)胞，影響數(shù)據(jù)分類的問(wèn)題，提出一種基于尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂的芯片表面缺陷檢測(cè)方法?；赩GG19預(yù)訓(xùn)練模型對(duì)芯片表面缺陷進(jìn)行特征提取，采用尺度自適應(yīng)細(xì)胞分裂分類方法(SA-CDCM)對(duì)芯片進(jìn)行表面缺陷檢測(cè)。SA-CDCM算法分裂過(guò)程無(wú)空細(xì)胞產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)了細(xì)胞分裂尺度自適應(yīng)，能夠以較少的檢測(cè)器進(jìn)行缺陷檢測(cè)... （共7頁(yè)）