一種用于IC測試的精密測量單元電路設計

摘要： 隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對集成電路測試要求越來越高，精密測量單元是集成電路直流參數(shù)測試的核心單元。本文設計了一種用于集成電路測試的PMU電路，該電路使用現(xiàn)場可編程門陣列控制DAC模塊施加電壓激勵，激勵信號經(jīng)PI調(diào)節(jié)器和功率放大器后，通過電阻匹配網(wǎng)絡施加到被測器件，ADC采集測試響應數(shù)據(jù)，實現(xiàn)加壓測流、加流測壓等參數(shù)測試功能。所設計的PMU電路具有測試范圍寬、測量精度高的優(yōu)點... （共7頁）