基于單傳感器的晶圓校準器旋轉軸回轉誤差補償研究

摘要： 半導體晶圓校準器旋轉軸的回轉誤差補償是提高晶圓校準器定位精度的關鍵技術，為此提出一種基于單傳感器的晶圓校準器旋轉軸回轉誤差補償方法，可有效避免在裝置中引入多傳感器等輔助設備帶來的新誤差和多次標定問題。該方法采用集合平均和小波閾值去噪的雙重濾波法降低采集信號的隨機噪聲，通過數(shù)理統(tǒng)計誤差分離法精確分離高信噪比測量信號中混入的圓度誤差；同時根據(jù)多步法計算準確的回轉誤差，利用得到的誤差... （共10頁）