華中科技大學攻克芯片光刻膠關鍵技術

摘要： <正>近日，華中科技大學武漢光電國家研究中心團隊在國內率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方，助推我國芯片制造關鍵原材料突破瓶頸。其研發(fā)的T150A光刻膠系列產品已通過半導體工藝量產驗證，實現了原材料全部國產、配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。光刻膠是一種感光材料，用于芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，工作原理類似于照相機的膠卷曝光。芯片制造時，會在晶圓上涂上光刻膠，在掩膜版上繪... （共1頁）