一種用于單細(xì)胞阻抗檢測(cè)的CMOS-MEMS單芯片電化學(xué)阻抗傳感器

摘要： 傳統(tǒng)的基于貴金屬的共面電極價(jià)格昂貴，且難以與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)工藝集成，阻礙了采用共面電極的傳感器的量產(chǎn)與大規(guī)模應(yīng)用。開(kāi)發(fā)了一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝的共面鉭電極電化學(xué)阻抗傳感器，該傳感器集成了精準(zhǔn)微泵和微流道，可實(shí)現(xiàn)單細(xì)胞在共面電極上的精準(zhǔn)操控和非侵入性電阻抗檢測(cè)和分析。設(shè)計(jì)了3組不同寬度和間距的鉭電極，其中30μm/10μm的配置對(duì)細(xì)胞響應(yīng)最為靈敏。細(xì)... （共8頁(yè)）