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一種小體積MEMS傳感器數(shù)據(jù)記錄儀

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 8 2025-01-14
摘要： 對飛行器發(fā)射航行階段的數(shù)據(jù)測試是目前研究的重要方向。數(shù)據(jù)記錄儀作為一種可裝載的數(shù)據(jù)采集裝置，具有重要的研究價值。針對小型飛行器的數(shù)據(jù)采集工作，提出了一種具有小體積、低功耗、高性能以及高抗過載能力的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)傳感器數(shù)據(jù)記錄儀。它能夠?qū)θS角速度、加速度以及磁場數(shù)據(jù)進行同步測量。數(shù)據(jù)計算和實驗測試結(jié)果表明，記錄儀總體積為22.4 cm~3,工作狀態(tài)下的功耗僅為0.6... （共8頁）

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