柔性溫度—壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制備

摘要： 針對(duì)目前大部分柔性傳感器功能單一，只能測(cè)量壓力、溫度或者應(yīng)變等單一物理信號(hào)的問題。采用模板法制備出帶有微通道結(jié)構(gòu)的聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性基體，把離子液體和液態(tài)金屬作為導(dǎo)電介質(zhì)填充到微通道中，封裝得到具備溫度和壓力感知能力的柔性傳感器。研究分析了該傳感器對(duì)溫度和壓力的響應(yīng)特性以及分層結(jié)構(gòu)對(duì)降低溫度和壓力信號(hào)串?dāng)_的效果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：該柔性復(fù)合傳感器對(duì)溫度和壓力具有良好的線... （共5頁）

柔性傳感器 微通道 液態(tài)金屬 離子液體 溫度 壓力