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大行程并聯(lián)六自由度微定位平臺的設(shè)計(jì)

傳感器與微系統(tǒng) 頁數(shù)： 4 2024-12-02
摘要： 基于柔性鉸鏈，設(shè)計(jì)了一種六自由度(6-DoF)微定位平臺。該微平臺具有大行程、6-DoF運(yùn)動等優(yōu)點(diǎn)。平臺通過壓電陶瓷驅(qū)動，使用虛功原理對位移放大器進(jìn)行了靜力學(xué)分析。利用Ansys有限元分析軟件，對微平臺進(jìn)行了性能分析和模態(tài)分析。微定位平臺采用邊長為16.5 mm的八邊形設(shè)計(jì)，在XYZ方向運(yùn)動行程為272.94μm×283.66μm×312.29μm,平臺尺寸為Φ150×5 mm... （共4頁）

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