可切換/可調(diào)諧MEMS諧振器綜述

摘要： 多頻段、多模式通信系統(tǒng)需要高精度、多頻率可調(diào)、穩(wěn)定可靠的時(shí)鐘器件作為系統(tǒng)的頻率參考源，這類器件直接影響了無線通信的整體性能。MEMS諧振器作為時(shí)鐘器件應(yīng)用于通信技術(shù)，具有高可靠性、高穩(wěn)定性、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，特別是可調(diào)諧MEMS諧振器在具備單頻諧振器的特點(diǎn)之外，還具有多頻率、多模態(tài)可切換的特點(diǎn)。此外，諧振器還能夠用于制作多波段濾波器、傳感器、開關(guān)等器件，在射頻(RF)通信、無線傳感... （共6頁）