IC器件表面缺陷多光譜圖像特征融合檢測方法

摘要： 針對IC器件表面輕微缺陷在傳統(tǒng)的像素級融合檢測中容易被產(chǎn)生的冗余噪聲淹沒，干擾缺陷特征的提取，且在光照不穩(wěn)定的復雜檢測場景中不能夠自適應調(diào)節(jié)可見光圖像與紅外圖像對缺陷檢測任務貢獻度的問題，本文提出基于多光譜圖像特征融合的IC器件表面缺陷檢測方法，采用中期融合策略，設計了多光譜圖像特征融合模塊(MIFF),在YOLO框架下建立雙路特征提取通道，構建多光譜圖像特征融合端對端的YOL... （共10頁）