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面向MEMS加速度傳感器的aF級電容檢測電路設(shè)計(jì)

儀表技術(shù)與傳感器 頁數(shù)： 6 2024-12-25
摘要： 針對MEMS電容式加速度計(jì)輸出信號弱(fF量級)、易受干擾等問題,設(shè)計(jì)了一種基于差分載波調(diào)制解調(diào)方法的高精度電容檢測電路,檢測下限可達(dá)aF量級。該方法采用高頻載波調(diào)制解調(diào),可有效抑制1/f噪聲;采用敏感電容差動(dòng)檢測方式,可抑制共模噪聲干擾。采用fF級動(dòng)態(tài)電容輸出的商用加速度計(jì)表頭搭建測試系統(tǒng),測試結(jié)果表明:所設(shè)計(jì)電路的電容檢測下限可達(dá)35 aF,等效電容分辨率為■,本底噪聲水平... （共6頁）

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