晶圓駐留時(shí)間約束下雙組合設(shè)備協(xié)同調(diào)度

摘要： 在半導(dǎo)體晶圓制造中，違反駐留時(shí)間約束會(huì)導(dǎo)致晶圓損壞，同時(shí)，雙組合設(shè)備涉及兩個(gè)設(shè)備間的資源協(xié)調(diào)配合，使得調(diào)度更加復(fù)雜。本文考慮晶圓駐留時(shí)間約束，研究了配置全并行加工模塊的雙組合設(shè)備的穩(wěn)態(tài)協(xié)同調(diào)度問題。首先，構(gòu)建面向資源的Petri網(wǎng)模型，描述了具有駐留時(shí)間約束和全并行加工模塊的雙組合設(shè)備的穩(wěn)態(tài)加工過程，提出控制策略防止系統(tǒng)發(fā)生死鎖；其次，通過分析加工模塊的負(fù)載和機(jī)械手的任務(wù)過程，... （共13頁）