模擬集成電路工藝技術(shù)研究進展

摘要： 集成電路工藝是芯片制造的關(guān)鍵技術(shù)，也是推動芯片性能提升的主要動力。模擬集成電路作為集成電路的重要組成部分，是電子系統(tǒng)與自然界模擬信息交換的橋梁，具有應用范圍廣、產(chǎn)品門類多、工藝耦合度高等特點，因此模擬集成電路工藝技術(shù)呈現(xiàn)了高壓、高速、高精度或多樣化的器件集成等特征，并結(jié)合不同產(chǎn)品需求、不同工藝特征進行綜合折中形成獨特的工藝發(fā)展路徑。本文綜述了模擬集成電路工藝技術(shù)的發(fā)展歷程及研究... （共19頁）