離軸拋物面反射鏡的投影畸變校正研究

摘要： 光學(xué)元件在使用基于計算機控制光學(xué)表面成形技術(shù)(Computer Controlled Optical Surfacing, CCOS)的設(shè)備進行迭代加工時，需要導(dǎo)入光學(xué)干涉測量的面形數(shù)據(jù)。而使用無像差點法的自準直檢測光路測量離軸凹拋物面反射鏡時，由光路產(chǎn)生的投影畸變會使檢測的面形圖發(fā)生變形，進而導(dǎo)致工件的面形質(zhì)量難以快速收斂。針對此問題，本研究提出了一種基于自準直檢測光路的離軸... （共7頁）