二硅化鉬涂層制備技術研究進展

摘要： MoSi₂涂層具有優(yōu)良的高溫抗氧化性能，常作為各種材料的保護涂層。本文結合目前國內(nèi)外MoSi₂研究現(xiàn)狀，詳細介紹了等離子噴涂法、包埋滲法、料漿法、熔鹽法、磁控濺射法、化學氣相沉積法、激光熔覆法、放電等離子燒結法等MoSi₂涂層的制備方法，總結了幾種MoSi₂涂層制備工藝的優(yōu)勢、差異和不足，并對MoSi₂涂層制備工藝的改進方法與發(fā)展方向進行了展望。 （共11頁）