掃描電鏡二次電子探測器閃爍體導(dǎo)電層厚度對成像的影響

摘要： 掃描電鏡原位高溫成像技術(shù)是完成更高溫度材料分析測試需求而發(fā)展的先進(jìn)科學(xué)研究手段。為了進(jìn)一步提高掃描電鏡原位高溫成像的圖像質(zhì)量，本文基于自主研發(fā)的掃描電子顯微鏡原位高溫成像設(shè)備，研究了閃爍體前端導(dǎo)電層即鋁膜的厚度對成像質(zhì)量的影響。通過制備不同厚度的鋁膜，以相同的放大倍率和工作距離在樣品的同一區(qū)域?qū)崟r觀察閃爍體的鋁膜對可見光的遮擋作用及成像效果。實驗結(jié)果表明，鍍有120 nm鋁膜厚... （共8頁）