掃描電鏡多角度圖像采集系統(tǒng)研究

摘要： 傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡只能采集到樣品的二維圖像，難以獲得樣品表面更真實的形貌特征和量化的高度信息。為了實現(xiàn)掃描電鏡的三維形貌表征，通過改進采集系統(tǒng)增加通道數(shù)來控制四象限分布式背散射電子探測器組，獲取單視角多角度“光源”下的圖像數(shù)據(jù)，并采用三維成像算法中的光度法，來實現(xiàn)三維重建。本文設計了基于STM32系列微控制器的模擬電壓信號采集和發(fā)生卡，利用QT平臺開發(fā)了掃描電子顯微鏡圖像采集... （共10頁）