一維亞波長(zhǎng)紅外偏振光柵全息光刻加工

摘要： 亞波長(zhǎng)光柵作為一種體積小，易于集成，消光比高的偏振選擇器件，在遙感探測(cè)、材料應(yīng)力探測(cè)和抗散射成像等領(lǐng)域有著豐富的應(yīng)用前景。本文設(shè)計(jì)了高消光比，高透過率的一維亞波長(zhǎng)光柵偏振選擇器件，并實(shí)現(xiàn)其高效的加工方式。首先，基于等效介質(zhì)理論和有限時(shí)域差分對(duì)光柵進(jìn)行設(shè)計(jì)和仿真，設(shè)計(jì)了一種對(duì)全息干涉加工友好的雙層金屬結(jié)構(gòu)的一維亞波長(zhǎng)光柵偏振器件，具有占空比穩(wěn)定及易于圖形轉(zhuǎn)移的優(yōu)勢(shì)。之后搭建了全息... （共10頁）