基于傳遞矩陣法的柔性微定位平臺動態(tài)特性研究

摘要： 隨著精密微定位技術的發(fā)展，對柔性微定位平臺的動態(tài)特性研究越發(fā)重要。傳遞矩陣法(TMM)作為分析多體系統(tǒng)動力學的一種有效方法，具有建模方便、計算精度高等優(yōu)勢。為此，基于傳遞矩陣法建立微定位平臺的動力學模型，以分析其動態(tài)特性。介紹傳遞矩陣法的基本思想并建立柔性機構的傳遞方程，推導了其在任意激勵下的瞬時動力響應；基于柔性鉸鏈和柔性梁設計了一種XY柔性微定位平臺并推導出其支鏈及平臺整體... （共12頁）