吸氣劑泵
吸

吸氣劑泵　　　xī qì jì bèng

利用吸氣劑的化學(xué)活性捕集氣體從而降低氣壓的真空泵。鈦、鋯、鋇和鉬，以及它們的某種合金是化學(xué)活性較強的吸氣劑材料，其中最常用的是鈦，故又稱為“鈦泵”。在真空中利用電子轟擊或焦耳加熱使吸氣劑不斷升華并淀積在冷壁表面，形成新的吸氣劑膜層，從而不斷吸附剩余氣體分子，以提高真空度?？色@得低于10⁸帕的超高真空。